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投资者提问:硅烷不仅用于硅器件和硅集成电路,也用于化合物半导体器件(砷化镓...
2019年12月25日 10:50 问董秘

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投资者提问:

硅烷不仅用于硅器件和硅集成电路,也用于化合物半导体器件(砷化镓、碳化硅等)。已成为半导体微电子工艺中使用的最主要的特种气体。子公司浙江精功新材料技术有限公司,公司主营业务范围涉及硅烷颗粒硅和CVD沉积炉等多晶硅晶体生长技术?

董秘回答(精功科技SZ002006):

尊敬的投资者,公司全资子公司浙江精功新材料技术有限公司拥有利用高纯硅烷气化学沉积法生产高纯多晶硅的整套工艺技术和沉积炉设备的研发能力,感谢您对精功科技的关注!

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集成电路 多晶硅

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